第10章 手搓光源

两个人推着平板车在快递点到实验室之间往返奔波几十趟，终于把所有材料都送进了实验室。

“这两顿火锅……我感觉有些亏啊。”大刘喘着气，把最后一包快递送进实验室。

“我俩兄弟，说这些？”卓尔拖着大刘手臂往外送。

“我说，你买这么多材料放实验室，不会是要干啥违法的事吧？”大刘有点担心：“难道你想实验室加工卖x品？”

大刘被自己的想象吓了一跳。

“你蛇精病啊，做x品有买铜材铁材，稀有合金的吗？”卓尔指着快递上的品名，痛心疾首的说。

大刘想了想，好像也是。

突然一拍大腿：“我知道了，你这是要制造新型x品！”

“你tmd能不能别说x品？”卓尔对大刘脑洞大开也没辙：“我这是做材料实验呢。万教授都是知道的。实验室钥匙还是万教授给我的呢。”

卓尔只能搬出万教授。

大刘虽然有时候一根筋，但是对万教授还是很信服的。

听到万教授也知道才放下心来。

大刘转过身，少见正经的说：“这几天我感觉你有了很大变化，白露的事别放心上，那种女人，配不上你。”

卓尔知道大刘是关心他，怕他想不开做极端的事情，心头也有点感动。

“你觉得兄弟我像是为了个朝三暮四的女人就自暴自弃的人吗？”卓尔在大刘肚子上捶了一拳。

“我觉得像。”大刘一本正经的说。

“去死你。”卓尔再打一拳重的，认真的说：“现在我有更重要的事情要做，以前那些东西，完全不值一提。”

大刘咧嘴笑了，抬起砂锅大的拳头，在卓尔肩膀上锤了一拳：“我墙都不扶就服你！”

卓尔揉了揉被捶得发麻的肩膀，望着大刘离开的身影，嘴角露出笑容：“这家伙……”

仅仅搬运材料就差不多用了一上午时间，卓尔不想多耽搁时间，上一世的军人经历让他充满了紧迫感，只想尽快把光刻机光源搓出来。

现在卓尔打算做的是光刻机的光源部分，以及相应的真空系统。

Eu v光刻机的光线宽度仅有0.18微米，是人的头发直径的1\/500，在这个尺度下，就算一粒空气中漂浮的灰尘，都像一座漂浮的山脉一般，会对光线造成严重的干扰。

所以整个光源部分都必须在真空环境中使用。

有了昨天的制造经验，光源、反射镜、光阑、聚光镜、真空室、真空泵、压力传感器……一个个部件从无到有，逐渐生成。

多亏了实验室中有一具用于搬运的外骨骼，卓尔才得以把众多的部件一一组装完成。

绝大多数材料是用于制造真空系统。

相对来说，真空系统的精度要求没有这么高，国内很多厂家是可以生产的。

当整个光源系统与真空系统造完之后，材料基本用完，材料的数量是由系统精确计算，稍微增加了一点冗余量而已。

近10吨材料，差不多有9吨都用在制造真空系统上面，大块铸造的配件很多。

一台功率600瓦的极紫外光，光源设备已经摆在卓尔面前。

仅仅是造出设备并不够，还必须对光源进行相关检测，证明这个光源能够达到标准，卓尔才能用这台光源设备去获取更多的赞助。

平常的光源检测通常是采用单个紫外照度计，在光刻机照面内分区域逐点测量照面光强，从而计算出光斑均匀性。

但是耗时比较长，精度也相对较低。卓尔并不打算使用这个方法。

卓尔准备使用的是光刻机照度均匀度多点测量方法。

该方法利用紫外增强pIN光电二极管，同时快速测量曝光机照面多点的光强，大大提高了曝光机照度。

卓尔轻轻抚摸着光滑的外壳，心中充满了成就感。

现在华夏国内，能够制造的极紫外光，光源设备最大功率大概在300瓦左右。

卓尔手头的这个光源，对现在的华夏还是有很大的帮助。

看看时间，现在时间才到晚上10点。

光源检测可能还要消耗几个小时才能出结果，趁这个时间正好把大刘叫出来搓一顿。

卓尔锁好实验室大门，联系了大刘，就往老地方赶。

半路上正好遇到了张洁、白露和言娜，张洁看到卓尔，满心愤恨，又想扑过来，却被言娜赶紧拉住。

张洁冲动缺脑，言娜却知道，现在他们两人身上可是挂着诽谤和泄露他人信息的罪名。

现在两人不过是取保候审。

一想到将会被关在监狱里面，失去自由数年时间，两人就浑身无力。

要想脱罪，还指望着卓尔的谅解协议，现在可不能再得罪卓尔了。

白露这个卓尔原身的前女友，此时神色复杂的看着卓尔，一副欲言又止的样子。

卓尔根本就不想理她们，视若无物的从她们三人面前走过。

一见面，大刘就拉着卓尔，一脸高兴的说：“你听说了吗？张洁和言娜两人可能会被学校开除。”

“哦？”卓尔整天待在实验室中，哪有机会去听说这些小道消息。

这样就可以解释，刚才张洁看到卓尔为什么会表现得如此愤恨了。

自作孽，不可活。

就在卓尔与大刘两人在老地方大吃火锅的时候，一名高大儒雅，穿着一丝不苟的老人打开了材料实验室的大门。

老人是微电子学院的教授，白教授——一级教授，华夏科学院院士，微电子以及应用物理方面的专家。

今天白教授的实验室中正好缺了一种实验材料。为了不影响试验进度，白教授准备先到材料实验室拿一点应急。

材料实验室本身就是公共实验室，里面也没有什么太贵重的材料，很多教授都有钥匙。

进入材料实验室，白教授微微皱眉。

实验室中的灯光竟然还开着，白教授做事一板一眼，特别不喜欢看到这种丢三落四的情况。

里面竟然还有一台仪器开着，白教授微微觉得有点诧异。

仔细一看，白教授吃了一惊。

他没想到材料实验室中竟然还有一台极紫外光源设备。

极紫外光源设备，正是现在白教授研究的课题，是作为光刻机课题攻坚的一部分。

前几天白教授的课题小组在极紫外光源上获得突破，达到了300瓦功率。

此时看到另一台光源设备，不由大感好奇。

围着设备转了两圈，并没有在设备上找到铭牌之类的东西。

这台设备正运转着，似乎在进行光源测试。

白教授直觉的觉得这台设备不简单，似乎远超他的课题小组才完成的那台设备。

“似乎使用的是，光刻机照度均匀度多点测量法。”白教授暗自沉吟。这种方法也做不了几个小时，他很想知道这台设备的测量结果到底怎样。

现在白教授也不急于拿原料了，既然这里有试验可做，干脆把这里的结果看完再说。

白教授着迷的围着这台设备看个不停，越看越是惊讶。

仅仅从这台设备的构型与结构，白教授都觉得获得了不少启发。

这些东西如果运用到现在正在进行的课题小组上面，又可以获得不少新的提高方向。

但越是能看懂，就越是难以自拔。

光源外面包裹着真空设备，透过真空设备去看里面的结构，始终像是雾里看花。

似乎什么都看到了，又似乎什么都没看到。

正是这种欲拒还迎的撩拨，才让人欲罢不能。

一向成熟稳重，一丝不苟的白教授。此时却像20岁的年轻小伙，与心爱的姑娘初次约会一般，患得患失，心痒难耐。

甚至他都没有去思考，为什么在普通的材料实验室中会存在一台先进的光源设备。

现在白教授只想早点拿到检测结果，看看这个光源到底是什么水平。

此时卓尔还在老地方跟大刘喝啤酒吃火锅，吃得不亦乐乎。

大刘本身就身高体壮食量大，卓尔则是三顿合成一顿吃。

两人都是战斗力超强，一时间竟吃得旗鼓相当。

今天没有了那些网络上的烦心事，两人都吃得更加畅快。

两人一边吃一边天南地北的聊着。

卓尔很喜欢聊这些，前世他并没有上大学，而是直接参了军。

虽然现在记忆里有这些记忆，但是终究没有亲身经历来得直接。

两人就这样慢慢吃着喝着，慢慢聊着，不觉时间的流逝。