第35章 长春光机所

离子束抛光属于原子量级上的无应力、非接触式抛光。

从基本原理上来理解，就是在真空状态下，利用具有一定能量的惰性气体离子，比如氩气离子，去轰击工件表面，通过物理溅射效应去除表面材料。

蔡司利用离子束抛光技术制作了离子束抛光装置，这属于他们的机密产品买不到，其中还需建立多层膜，可以降低晶粒扩散时的反射率，从而打造更小的粗糙度，硬生生把这项技术推向了物理极限，能打破物理极限的东西可能只有魔法了。

看着在长春光机所忙碌的专家们，路阳帮不了忙，他也试过了触摸各种设备，没任何反应，原因应该是这一套设备没有形成固定的生产线，还处于研究阶段。

廖老带着人从工作间出来，对路阳说道：“走吧，出去接人。”

来到大门外，只见两台黑色商务车上下来4个人，其中两名看起来比较年轻的魁梧壮汉戴着墨镜，蓝牙耳机，路阳猜测应该是保镖。

另外两人年纪都在50岁左右，一男一女，都戴着眼镜，皮肤粗糙，穿着普通的休闲外套。

“廖老，您好，我们是23所的，奉命来提供研究协作。”

开口的男人个头挺拔，声音苍劲有力，一看站姿便知是部队出身。

“你好，我就是廖锡昌，感谢两位，不知怎么称呼？”

男人笑道：“我叫柴文政，她叫丁冉。”

女人上前打招呼：“廖院士您好！”

“走吧，我们边走边说。”

从大门到工作间有3分钟路程，廖锡昌向两人介绍了基本情况，两位黑衣保镖检查完工作间后守在门外。

柴文政也是临时接到上级的命令，来之前并不清楚具体是做什么的，只知道对方需要离子束技术方面的帮助，原以为会很简单，毕竟这个领域，23所是最强的，并被授权可以开放技术。

“离子束抛光技术吗？与我们的方向有重合，但又不完全一样。”柴文政说道，拿起廖老给他的资料。

丁冉翻了几页技术资料，皱眉说道：“不光抛光技术，还设计到多重镀膜，廖老您这边需要我们怎么配合。”

廖锡昌也没藏着，“第一，协助我们把资料上这些技术实现，第二，在离子束抛光方面是否能利用23所的技术完成替代，绕开专利。”

资料上并未标注来源，仅仅只是镜片制造工艺，柴文政忽然说道：“我们这是打算造EUV光刻机？”

这么点资料，能快速判断出最终目的，一旁的路阳表示佩服，看来又是做捧哏的一天。

廖锡昌点点头，“长春光机所这边负责光学系统，镜片与镜头组装，镜片用来实现13.5纳米极紫外光源的可利用性。”

“极紫外光太容易被吸收了，连空气都能把它完全吸收，必须在真空环境才可以实现反射。”丁冉边看资料边说。

“下午大连光源的同事也会赶到这边，我们这个专项小组一共24人，过来的有12人，这是光刻机最难的开始。”

柴文政低头沉思，果然如他所料，只有EUV光刻机这种级别的研究，才可能触动他们，但这任务可不是短期内完成的，他并不清楚手上资料的来源，但越翻越心惊。

“0.02纳米的平滑度，这已经小于原子级了。”柴文政惊呼道，脸色大变。

丁冉一听，拿过柴文政手上的资料，“我的天，0.02纳米，廖教授，你们太了不起了，23所现在也就在0.1纳米级别。”

路阳拿着本子假装在一旁记录，实则暗自观察23所的两人，果然名不虚传，与廖老的交流都能直指要害，没有一点架子，直来直往，看来他们的研究氛围一直如此。

两小时后，大连光源的人赶到，这次是路阳出去迎接，也是两人，仍然是一男一女的配置，年龄都在40左右，果然是男女搭配，干活不累吗？

“周哥、纪姐这边请，廖老正在实验室，二位远道而来，辛苦了。”

“哦，你们叫我小路好了。”

男人姓周名宇，今年42岁，标准国字脸，书卷味浓烈。

女人纪益玲，39岁，温文尔雅，保养得不错，他们跟23所差不多，对要做的工作完全不清楚，接到的任务就是全力配合，不得有任何隐瞒。

一番寒暄后，路阳领着两人来到工作间，廖老很快把这次的目的说清楚，

“小周跟小纪看起来都很年轻，不错，大连光源有你们这样年轻的技术力量，未来可期。”

然后转头又对23所的两人说道，“走吧，想着等大连光源的两位同志到后一起查看设备，免得同样的工作要做两次。”

周宇跟纪益玲现在才了解情况，听到一旁的两位是来自23所的，肃然起敬，虽然负责的方向不一样，但不能给大连光源丢人是两人相同的想法。

1小时后，查看完所有的设备，小组成员跟4位外援来到会议室，开始第一次会议。

“各位都是来自你们领域的专家，这次聚到一起，最终目的是为了实现EUV光刻机从0到1的突破，欧米花了几十年研制出来的东西，我们需要在短时间内攻破，这项任务的难度不用我再重复，申城那边正在建立生产线，留给我们的时间不多。”

“规矩我再说一次，不要去问资料的来源，不要去问为什么会这么赶，目的也非常清晰，拿出老一辈的那种科研开拓精神，我们一定能突破难关。”

“这位小路，是我的学生，同时也是苏硅半导体最大股东，华芯投资董事长，苏硅已经实现了90纳米dUV光刻机的完全自主化研发，现在已经在量产45纳米芯片，供新能源汽车使用，打破了多项技术封锁，整个项目的资金来源就是他。”

廖老首次公布了路阳的身份，小组的成员们与路阳相处时间不短，从没想过这样一个普普通通学生模样的人，居然是项目的金主，而且已经取得如此巨大的成就，大家都是搞科研的，自然明白dUV光刻机的自主化研发意味着什么。

所有人看向路阳，像是重新认识般，神情各异。

“各位老师好，我叫路阳，马路的路，阳光的阳！”