第74章 纳米光刻机(二)
也许是受到了廖老的刺激,朱易团队干劲拉满,工件台系统设计完成花了50小时,不到3天时间。
在双工件台完成那刻,朱易长喘口气,总算没给清大丢人,虽然距整机安装完成还有几天时间,至少他们并未拖后腿。
“老师,您都两天没睡了,回去休息下吧,我们在这守着。”朱易的一名学生说道,华卓工件这边来的只有5人,其中两人是朱易带的研究生,另外三人是公司的技术骨干。
看到海思的工作狂人24小时连转,他们自不会被比下去,团队抵达苏硅至今,每天休息时间都不超5小时,朱易教授已经连续48小时未曾合眼了。
“朱总,您跟路总那边谈技术授权的事了吗?只要把苏硅的工件台技术引进,我有信心稳定90纳米的双工件台技术。”华卓的一名研发人员说道。
“说过了,没什么问题,现在优先的是光刻机的事,虽然廖老那边说过只要能运行起来就行,但我们可不能太拉胯,如果误差太大,丢人的还是我们。”
48小时而已,距离他巅峰时期连续一周的记录还很远。
“我们这次是优先保证同步率,误差现在还不好预估,可以确定的是现在这套双工件台系统,比我们原来要好很多。”
朱易认同对方的说法,微微点头,“这次多亏海思与申城微电子的协助,不得不承认,在商业化方面,我们与海思还是有很大差距的,思维上差异更大。”
学院派与企业的差异在这刻体现得淋漓尽致,学院派考虑的是大方向与自主研发差异化,企业讲究的是落地优先,效率至上。
“双工件台”是测量台和曝光台的合称,是承载用来生产芯片的硅片的工作台,光刻机的核心组件之一。
测量台和曝光台,实际是两个形态相同的工作台,两个工作台分别位于测量位置和曝光位置,相互独立且同时运行。
当1号工作台在曝光位置进行步进扫描曝光时,2号工作台在测量位置完成硅片的上下片、三维形貌测量等工作,1号工作台完成硅片的曝光后,两个工作台交换位置和职能,如此循环往复完成硅片的高效曝光。
双工件台的研发难度主要是控制方向,芯片的高精密性导致工件台的移动速度与移动距离都是微观层面的,这就需要在仿真算法与精密控制上有大量的研发投入。
“机会难得,所有人都要多学多看,华芯在半导体方面的技术深不见底,格局非常大,松江在建的光刻机生产线,外界都以为是笑话,这两天了解下来,是有真东西的,也许这是我们华卓的一个机会。”
朱易对团队成员吩咐道,软件方面有华芯九天,设计有睿芯,原料有硅片,现在连光刻机都在布局了,这盘棋非常大,后面没有国家的支持谁都不信。
双工件台与镜头组设计完成后,设备组开始组装光刻机,并更换升级配套的相关设备,要想升级成28纳米的双工件台dUV光刻机,不仅仅是组装一台光刻机而已,整体配套的设备与工艺优化工作量仍然巨大。
好在原先的生产线大部分都还能用,海思最近已经摸清这台90纳米的光刻机,拆卸还原过十几次,除了开始时卡住外最后几次都非常顺利。
这既有苏硅与申城微电子的工程师协助的原因,更多的是来自华微科学家本身的实力,在筛选时就已充分考虑过。
华芯、申城微电子、华卓,海思组成的联合研发团队,经过几十天高强度的联合攻坚,终于在2018年的最后一天完成了整个生产线的改造,把90纳米精度的dUV光刻机直接升级到28纳米浸没式双工件台dUV光刻机。
当然,现在是否成功还未知,净室外站满了人,廖老、路阳、周怀义、何洪年、朱易,来自各家的核心技术人员,所有人都在等着设备的开机。
路阳心中非常激动,看着净室里的光刻机,穿越回来快半年,能做到今天这步可以说是奇迹了,这奇迹一方面来源于系统,另一方面更多的是国家的支持,人力,财力,政策,技术背后都有无数人默默在付出。
廖老看向路阳,眼神中带着欣慰与鼓励,这种重要的时刻,他选择交给路阳,微微点了下头。
“开机!”简单的两个字,用尽了路阳全身的力量。
随着光刻机上指示灯亮起,首次流片开始,使用的是苏硅自主研发生产的12英寸硅片,实验目标要求也不高,只要能光刻成功便算圆满,至于良品率什么的都无需考虑。
净室外站着的众人都开始紧张起来,焦急的等待着结果,如果设备正常,雕刻一片晶圆所花的时间还不到2秒,100片也就20分钟左右。
然而这短短的20分钟对于路阳来说却非常漫长,他甚至能听到自己心跳的声音,双眼盯着净室内的操作人员,生怕忽然间设备停止。
当工作人员从设备中拿出第一片雕刻好的晶圆时,众人都松了口气,路阳对检测结果并不看好。
“叮!”
终于听见了久违的声音。
“检测到镜头组错误…”
“检测到工件台不匹配…”
“检测到净室参数不达标…”
系统一口气给出了几十项错误提示。
当检测人员拿着晶圆走出车间时,路阳悄悄来到入口处换好衣服。
廖老视线并未停留在路阳身上,注意力却一直跟着路阳。
没过多久他便发现净室内多了一名工作人员,看身材廖老便知道那是路阳。
触摸机柜的双手略微颤抖,路阳沿着光刻机绕了一圈,随后又继续触摸生产线上的每台设备。
与此同时,净室外的众人视线都集中在检查人员手上。
这次流片目标一步到位,选择的是7纳米手机芯片,设计是华微这边独立完成的。
“良品率,0!”
检察员一句话把所有人拖入谷底,结果在众人预料之内,但心中仍有一丝希望。
希望之火被无情浇灭。