第422章 EUV难度更大

三人来到张江开发区，走进SmEE研发大楼，来到一间硕大的车间。

好家伙。

偌大车间，一台巨大的设备占据了大部分空间。

看着线路及零部件密集程度，令人头皮发麻。

“老板，这就是我们研发的duvArfi光刻机，不出意外，应该是目前国内最高水准。”何融明用略带骄傲的口吻介绍道：

“从双工作台、光源系统、曝光系统到物镜系统、光栅系统……任何一个零部件都是国产自主。”

换作八年前，何融明想都不敢想。

这就是资本得当的魔力。

“即便只是dUV光刻机，也是全球唯一一个能独立制造的国家。”梁青松说。

他的神情与有荣焉。

“售价准备多少？”常乐问。

“我们计划3000万美元一台。”何融明说。

嗯，ASmL的dUV光刻机型号不同，价格不同。

dUV价格区间为2000万欧元至6500欧元。

其中，与国产dUV相类似的，售价为6500万美元。

“这是很有竞争力的价格。”常乐点头。

“对，因为全线国产自主，我们的成本可以压到很低。”何融明说。

片刻后，车间内来了很多人。

这些人都是零部件企业和科研机构负责人。

何融明一一向常乐介绍。

常乐一一和这些人握手。

这些企业中，有华卓精科，他们提供双工件台；

有科益虹源，他们提供光源；

有国科精密，提供曝光系统；

有启尔机电，提供浸没系统；

有国望光学，提供物镜；

有沪光所，提供光栅系统；

还有南大光电，他们提供光刻胶；

华特气体提供光刻气体；

华润膜提供光掩膜板；

东方晶源提供缺陷检测系统；

以及，芯源微提供涂胶显影。

正是这些企业的大力研发，才能确保成功研发duv浸没式光刻机。

Smee和ASmL一样，都是系统组合商。

核心技术聚焦设备组合，而不是设备研发。

介绍完且相互认识之后，众人一同来到会议室。

依次坐定，常乐说：

“首先，要感谢各位八年来的不懈努力和辛勤付出。”

“因为你们的砥砺奋进、守望相助，国产光刻机才能在如此短的时间内，实现Krf光刻到ArFi光刻的三级跳，取得了历史性突破。”

“但是，现在还不是我们庆功的时候。”

“新的挑战就在眼前，站在技术迭代的关键十字路口，下一步我们该怎么走，还需要再确定、再出发。”

掌声！

常乐说完这几句话，问何融明：“何总，目前Asml那边EUV光刻机什么进展？”

“据我们所知，应该已经完成原型机研发，但离真正上市商用，还需要时间，具体时间不确定。”何融明说。

“那这么说，我们和Asml的差距不大了？”常乐继续问。

“嗯……单单产品方面看，差距确实不大，甚至我们还更有优势。”何融明解释道：

“但是从技术和产品积累看，我们要走的路还有很长。”

“因为他们研发Euv，走了22年，必然遇到我们想都想不到的问题。这些问题，接下来我们都会遇到。”

“嗯。”常乐点头，继续问：“何总，从duv跨越到Euv难点在哪里？”

“难点很多，光源、物镜、工作台等等都是非常关键的环节点。”何融明说：

“老板，要不这样，让在座的企业负责人介绍一下？术业有专攻，他们更专业，也更容易解释清楚。”

“行。”常乐点头。

于是，启尔电机负责人先发言：

“常总，何总，我先说说吧。”

“好。”

“首先感谢常总、何总这些年，对启尔电机的关心和支持，没有SmEE的资金支持和帮助，启尔电机不可能走到上市前夜。”

“什么时候上市？”常乐问。

“12月。”

“那我们之前买的那些股票要值钱了。”

“哈哈……”

短暂笑过，启尔电机负责人开始正式介绍情况：

“启尔电机主要为duvArFi光刻提供浸没系统。”

“通过浸没系统和光的折线效应，实现了193纳米到134纳米的等效波长，Arf光刻推进到Arfi光刻才成为可能。”

浸没系统，就是将镜片与硅片之间的空间，浸入特殊液体中。

由于液体折射率大于1，能够使193纳米波长光源缩短至134纳米，从而实现更高分辨率。

也顺带，将光刻工艺节点从45纳米推进到14纳米、10纳米。

“但是……”该负责人话锋一转：

“同样的方法，157纳米波光光源叠加浸入技术后，无法降低波长。”

“所以，进入EUV阶段，就需要更为复杂的技术和手段来实现极紫外光源。”

启尔电机负责人介绍完，科益虹源企业负责人接着说：

“对，进入EUV研发阶段，目前的主流方法，是用准分子激光器照射锡球靶材，获取极紫外光源。”

“要做到这一步，需要时间，难度不小。”

难度有多大？

非常大。

要产生13.5纳米波长的极紫外光源，需要用高功率准分子激发器，以每秒5万次的频率，不断击中一个正在高速运动中的小锡球。

让小锡球温度上升至50万度，变成等离子体，从而产生极紫外光。

这个小锡球大小为三千万之一米，运动速度为321公里\/小时。

“目前，能够提供这种激光器的公司，全球只有一家，德国的通快公司。”

“但是通快公司也不能独立提供，需要北美cymer公司合作和技术授权。”

“此外，还需要立陶宛一家公司提供关键器材。这家立陶宛公司背后又是北美技术授权……”

“所以，在技术方面，我们得不到任何借鉴和支持，还是需要想办法绕开专利限制，慢慢探索。”

光源只是关键困难之一。

国望光学负责人接着说：

“我们负责物镜系统研发，但是，同样需要时间来探索和积累。”

Euv物镜需要理论上的绝对平滑、平整。

镜片起伏只允许一个原子的误差。

这是理论物理的极限。

通俗讲，就是把镜片放大到鲁省大小。

一个病毒落在镜片上，就像拔地而起的高山。

国望光学负责人说完，华卓精科负责人自信说道：

“我们公司负责工作台，正在集中攻坚，应该在不久的将来，可以达成既定目标要求。”

工作台是干什么的？

相当于刻刀。

在指甲盖大小的硅片上，刻画出几百亿个晶体管。

这需要极高精度。

当然，全球也没有任何一个国家能够独立制造。

需要日、韩、北美、德国等诸多国家的专利支持和技术协同。