第124章 不展示

方程在办公室里收拾了一下，正待下楼去工作间，却接到了宁松的电话。

\方子，快过来救场啊！\宁松在手机里低声道。

\怎么了？失火了？\方程站在电梯门口问道。

宁松低声道：\昨天，这些光电所的专家们还只是参观一下。今天来了之后，问了我们工程师好几个问题。

我也不知道回答的怎么样，只是看对方的脸色，估摸着这是对咱们有些轻视啊。\

方程进了电梯，继续说道：\轻视就轻视吧，咱们有必要跟他们争论这个吗？做好咱们自己的事情就行了。\

宁松却道：\他们轻视咱们倒是无所谓。可等咱们再发布什么新技术之类的，难免他们会在背后提质疑或者说些怪腔调啊！

方子，人言可畏啊！\

方程出了电梯，边走边说道：\行，那你带他们上3号会议室吧。我过会儿就过去。\

宁松挂了电话后，转了个弯，然后快步走了过去。

\各位，我们方总，请大家去会议室去坐坐，顺便详细的解答一下大家的疑问。

请大家跟我到这边来。\

…

方程来到3号会议室时，会议室里却是一片安静。

宁松见方程进来，连忙介绍道：\这位就是我们公司的技术总裁方程，方总！\

会议室里的人只是纷纷看过来，既没有掌声，也没有窃窃私语声。

方程笑着跟大家点头示意了一下，正待坐下，这时有人说话了。

\方总，前段时间你说你们研究出激光辅助放电等离子技术，成功获取了13.5纳米波长的激光。

我现在有几个问题想问你。你们是怎样…\

方程看了对方一眼，没有回答。而是问道：\你是哪家光电所的？\

那人明显一顿，然后道：\我是江源光电所的。\

方程环视了会议室一圈，说道：\大家来参观交流，我和公司全体同仁是欢迎的。

技术研究嘛，不是闭门造车。只有经常进行一些技术交流和分享，才能更好更快地推动技术的发展和进步。\

说到这里，他顿了顿，继续说道：\可做为客人，对主人起码应该有些最起码的尊重吧？

你们可以不认可我们的技术路径，但不能因此就认为我们的技术不行。

我们的技术你真的懂吗？

懂，你们也早就弄出来了。

不懂，那就应该抱着谦虚请教的心，而不是在主家横挑鼻子竖挑眼！\

方程的一席话，让会场的人都有些如坐针毡，很不自然。

他们做为行业中的翘楚，走到哪里那都是被人捧着哄着，什么时候被人这样批评过？

可他们也是有气撒不出。因为方程说的也是事实。他们自己扪心自问，自己确实有些喧宾夺主了。

方程没在这个问题上继续说一下，而是道：\我将大体的思路跟大家说一下，然后我们再一起讨论。

现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术，这个我就不多说了。主要讲讲放电等离子体技术。\

方程坐在那里开始了他的介绍。

放电等离子体技术，其实就是通过快脉冲、大电流对介质放电，然后形成高温高密度等离子体，从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。

而根据放电方式的不同，放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术、中空阴极管放电技术、毛细管放电等离子体技术、激光辅助放电等离子体技术。

激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源，用锡做为工作介质，用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体，形成放电通道…

方程大概讲了一遍后，继续道：\国外在几年前也有过此类的研究，相信大家也有耳闻。

虽然放电等离子体技术有诸多优点，比如光源结构简单，投资运营成本低，适合大规模工业应用等。但它的缺点同样很多。

比如说，碎屑控制、重复频率、放电条件下光源稳定性、增大光源输出角等问题。\

在座的众人纷纷点头。这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。

\我们公司根据其缺点，逐一进行了解决！\

此言一出，会议室内顿时一片倒吸冷气声！

如果真如方程所说，这些问题都解决的话，那可以说，国外那所谓的封锁，在以后就只是个笑话而已。

毕竟相比阿麦斯的光刻机来说，其光源上面临的困难也是很多的。

他们之所以放弃激光辅助放电等离子体技术，就是因为这些难题一直得不到解决。

大家连忙屏气凝神，静待方程的讲解。

\先来说一下关于碎屑的控制问题。大家都知道碎屑的产生是因为激光轰击锡物料所产生的。

这种碎屑一旦沉积在反射镜表面，就会影响到极紫外光的输出功率，从而影响光刻效率，降低光刻机的使用寿命。

有研究机构提出，可以利用加磁场来降低离子动能。但这只对带电离子有效。

也有提出充加缓冲气体，来增加原子和离子的阻力。效果有吗？有，可是不大。\

众人听了纷纷点头。

\我们另辟蹊径，采用了一种全新的技术理论，浮游离子吸附加力引导！

通过这种技术，可以有效地降低碎屑的单位密度，从而做到对碎屑有效控制。\

方程说完，继续道：\我们再来讲一下关于重复频率的问题…\

\等等。\一名老者举手示意道：\方总，你能不能将这个浮游离子吸附加力引导，详细地讲一下？\

方程看了看大家希翼的神情，无奈地说道：\大家的想法我知道。可是这是我们公司的机密技术，在这里实在不方便过多透露。\

有人马上问道：\方总，你的意思是说这项技术你们没有申请专利吗？\

方程点了点头道：\没有。大家都知道申请专利，是需要将技术完全展示的。

在我们还不具备制作出完整光刻机以前，这项技术我们是不会申请专利的。

希望大家能够理解。\

方程向大家表达了一下歉意后，继续讲起了后面的各种问题。