第66章 参观晶圆厂流水线（上）

晶圆厂食堂。

餐桌上的氛围十分尴尬，首先是蓝展博，总是有意无意地和王向中以及金圆圆保持着距离，而白马也是知道自己闯了大祸，一改往常的话痨性格，只是在那闷头吃着饭。

叶志华倒还是和原来一般模样，只是偶尔吃两口，便会抬头看看自己几个学生的神态和反应，旋即又摇摇头继续吃饭。

金圆圆则也是闷头吃着自己的饭，一言不发，也不抬头，选择做一个隐身人。

王向中也只能板着尴尬的脸色，嚼着发苦的馒头，喝着发涩的汤，如今场面是他自己自找的，也怪不了谁。

他倒是身正不怕影子歪，只是怕两件事，一是发生这事对金圆圆的声誉有所影响，二来是自己在别人眼中的评价会降到冰点。

就拿蓝展博来说，本来他就看不惯王向中，现在的话，恐怕会直接将王向中当成一个无耻淫贼看待了。

今天的早餐仍然是由牛玉鹏负责接待，他瞧见几个人都是一言不发的样子，还以为他们仍然在为昨天王向中的话而耿耿于怀，继而便是笑道：“我说王老弟啊，年轻人行将就错，是可以理解的。”

“嗯？”王向中瞳孔一震，真是没想到这事竟然传的这么快，居然让牛主任知道了，这未免有些太丢人，于是便也神色尴尬地回应道：“牛主任教训的是。”

见到王向中认错，牛玉鹏也不是个小家子气人，当即也是豪爽表示道：“以后这种事啊，要低调着做，不要太高调。很正常嘛，有时候不在乎别人的眼光，也是一种勇气的表现……”

说着说着，饭桌上几人的表情更是精彩起来。

牛玉鹏见到几人神色怪异，也是露出一副错愕的表情，声音也是逐渐小了起来，他有点不明白，是不是自己说错了什么……

一直到了参观晶圆厂净室之时，气氛才稍稍缓解下来。

“这里就是我们晶华的净室了。”牛玉鹏指着不远处一栋约莫五六层高的建筑，笑着解释道：“这里也就是生产晶圆的核心区域。”

毕竟他们是来指导晶圆生产流水线的，昨天王向中和金圆圆逛的是硅片的生产线，自然不属于晶圆生产的范畴之内，因此也并没有从头开始参观。

“很奇怪啊，如果停工一段时间，晶圆的良品率就会有所上升，但是在工作一段时间后，晶圆良品率就不行了，经常出现大面积晶体管损毁的现象。昨天是开工的第一天，所以今天的良品率还算是可以。”

牛玉鹏也是叹了一口气，继续补充道：“我们怀疑可能是哪套环节出现了问题，所以还请各位专家多多看看，分析一下问题的原因。”

叶志华也是面色沉重地点了点头，他也知道，这次几人背负的任务还是挺重的，就连他也没有信心，一定能抓住问题本质核心所在。

王向中一听到这话便知道，这问题大概率就是出在硅片生产线上了。在这个年代，即使有废气过滤系统，对氯化氢分子进行中和处理，但依然还是会有不少氯化氢气体逃逸而出，接着通过通风系统进入净室之内。

虽然氯化氢在常温下不与硅直接反应，但是在PN二极管上的硼，以及金属电路所使用的铝，则就没那么幸运了，它们会与氯化氢共同反应，直接破坏电路上的结构，从而导致废品率明显增多。

但除了金圆圆之外，所有人都不知道，其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了，其关键问题根本就没有出在内部生产线中，而是外部的硅片生产线上。

当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来，他还需要更多的细节来验证自己的猜想。

几人跟着牛玉鹏上了楼，便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。

“前面就是净室了，”被噪音影响，牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分，“一会咱们就要换衣服进入净室了，先声明一下，里面不能吃东西，不能脱口罩，不能咳嗽挠痒，以防止污染物流入生产线，听明白了没有？”

几人听到牛玉鹏的话，皆是点了点头。

净室，顾名思义，即是干净的生产室。这条5英寸的晶圆生产线，制程约在0.9微米左右，普通的灰尘等颗粒污染物，其直径尺寸大概就是几微米左右的样子，一旦在生产线上出现灰尘颗粒，极有可能直接将数张甚至数百张晶圆直接报废，所以需要格外谨慎。

净室不仅在温度、湿度、压强等指标方面控制相当严格，就连微震动指标，也是它所关心的数据之一，就拿光刻机来说，只要出现一点点震动，就可能导致光掩模偏离，或者光源不稳等情况，直接报废晶圆。

这个年代都还好，在未来纳米级别的芯片时代，就连患了感冒都不被允许进入净室，要知道一颗病毒的直径大多就在一百纳米左右，只要一个不慎，一口喷嚏下去，暂且还不提震动的事情，就算是这口喷嚏中的病毒，直接的经济损失至少也是数十万……

等到他们穿戴好防尘服，静电鞋，以及防尘目镜和口罩，在一番仔细检查，确认头发等细物都未暴露在空气中时，方才被允许进入气锁室内，进行下一步的除尘工作。

晶华净室使用的还是紊流洁净室方案，也就是顶层布置少量风机，两侧开设回风口，通过气流压强进行气流循环，以保证整体的洁净度。

这种紊流洁净室的优点是整体价格比较低，部署周期相对较短，在这个年代属于比较常见的净室方案。

在未来，层流洁净室将会代替这种古老的方案，通过大量风机垂直对准地板上的出风口，将均匀的气流对整体形成循环，以保证最少的杂质和异物进入生产线中。

“我们一般都是使用四探针法，对硅棒进行整体的良率测试，探测出它的轴向杂质浓度，以确认该晶圆是否可以正常使用。”

“一般送到这里的硅棒都已经是初步处理过了，已经将硅棒初步剪裁，大概每一段都是三十厘米左右的样子。”

牛玉鹏指着屋内正在不停运转的机器，继续介绍道：“这个就是内圆切割机，用于将硅棒切割成晶圆。”

众人望过去，数十台白色的机器正在其内不断运转，然后自动打包出不少半透明的盒子，而盒子里面，装的就是一片一片的晶圆。

晶圆相对还是很重的，而且在这个年代，大多都是使用人工进行晶圆运输工作，就比如此时，王向中就看到两个工作人员，正小心翼翼地将装有晶圆的透明盒子缓缓卸下，放在小推车上。

晶圆说白了，就是一整片硅单质，它在常温下是高脆度的固体形态，即使是工作人员已经足够小心了，但只要有一个磕碰，就可能导致晶圆表面出现肉眼不可见的裂缝，从而使得良品率下降。