第93章 力排众议（上）

第二天，晶华晶圆厂礼堂。

首先是由李东发表了一篇又臭又长的感谢致辞，大概意思是水木大学专家组如何如何厉害，很快就把厂里存在了多年的问题，然后慷慨激昂地着重描绘了一番自己的宏图伟业，不过大多都是一些套话空话，听得台下的人都快要睡着了。

“接下来，有请水木大学专家组的王向中同志，来发表讲话！”李东倒是完全不在乎台下观众的态度，依然是笑意盈盈地说道。

见到发言者终于要换人了，不少人也是醒了醒瞌睡，随即台下响起了稀稀拉拉的掌声。

会议进行到了这里，台下的人都已经认为接下来没什么可以听的东西，大概就是走个过场这样子，因此是也情绪比较懒散。

不过在前排嘉宾席上的研究生们大多却是满眼震惊之色，皆是面面相觑起来。

“这个王向中是不是那个小师弟？”

“却是是他啊，怎么不是由叶老来致辞吗？”

“他也能代表我们专家组吗？”

研究生人群里，也是爆发出了一阵窃窃私语。

这一切当然被王向中尽收眼底，站在台上，下面的人在干什么，有什么样的表情，又在偷偷讨论什么，台上的人都能看得一清二楚。

不过他并不在意这些无聊的讨论，只是轻轻清了一下嗓子，旋即便开口道：“同志们，朋友们，刚才李董已经说了很多了，那我也就不废话，咱们直接切入正题。”

台下的晶华员工们本来都瞌睡了，但是见到上台发言的人竟然是一个毛头小孩，不少人皆是惊得下巴都快掉了下来，顿时间困意全无。

“晶华现在已经解决了第一重困难，在过去的一个月里，我们已经把厂里原来的硅片流水线给迁走了，现在的晶华，已经初步具备4英寸和5英寸晶圆的生产能力了。”

“尔后我们制定了一套培训方案，要求各位领导和同志们执行，现在看来，执行情况也是比较好的。”

“所以我们接下来的主要任务，就是配合晶华，提升现有的光刻精度，努力在一年内，将晶华现有光刻机的工艺节点，尽量提升到0.5微米以内，如果能提升到极限是自然是最好的。”

此话一出，台下一片哗然。

“什么？”

“这小子怕是疯了吧？”

不少人皆是面色古怪地看向台上的王向中，毕竟这种言论还是太吓人了，这里可是晶华晶圆厂啊，在工程部门工作的人，大多都是懂行的，提升光刻机的分辨率这种说法几乎可以等同于胡说八道。

台下来自水木大学的研究生们此时更是纷纷炸开了锅，他们倒是听自己的导师提到过此次任务的艰巨性，但没想到王向中一开始就跳出来给他们安排了一个几乎不可能的任务。

“王师弟，我有一个问题。”台下的黄晓明突然举手道，“这可不是光凭你一句话就能决定的事情，提升光刻机工艺是一件很复杂的事情。”

尽管他已经在白马和金圆圆口中听到了关于王向中的诸多传说，但他相信眼见为实，耳听为虚，因此也趁机提出了自己的质疑。

“问的不错，”王向中笑道。台下诸位的反应并没有出乎他的意料，现在自己遭到众人的质疑也是相当正常。

“根据瑞利衍射定理，光刻机的分辨率受影像对比度、光源波长和数值孔径影响。早在你们来之前，我就已经参观过了晶华的净室，5英寸生产线所使用的光刻机型号是康尼NSR-1010g，属于一台i线光刻机。”

“i线光波长在为365nm，所以理论上它最高可以支持0.35微米分辨率。”

这个年代的光刻机既没有双工作台，浸润式光刻技术还没有被发明出来，因而王向中也只能保持这个年代公认的说法。

“光源波长已经定死了，所以我们剩下能做的，就是提高基础工艺水平，以及提高数值孔径。”

听到这些话，台下的研究生们脸色才算是好看了一些，但如果只是这点理论的话，也完全不足以支撑整个改进工艺，于是便有人忍不住说道：“那我们怎么提高数值孔径呢？”

“数值孔径的提升有两个办法，那就是改良透镜组，提升它的外镜直径，或者是减小透镜曲率半径，两者都是比较好的选择。”王向中沉吟道。

“改良透镜组……”台下一名戴眼镜的IE工程师（Industrial Engineer，工程工艺工程师）终于忍不住了，似是有些不屑地提问道：“外镜直径说提升就能提升？透镜难道可以手工打磨？你简直是在胡说八道，我真是听不下去了。”

“你是不是以为自己能比康尼研发部还聪明？他们做不到的事情你就能做到，你以为你是谁？”他继续嘲讽道，“你知道镜头玻璃的技术指标吗？先不说咱们能不能把镜头造出来，你们现在难道已经有了设计图纸吗？”

听到这话，不少人也是脸色一变，看向王向中的眼神也不太信任起来。

“这几台康尼光刻机的基础工艺因子系数已经调教得很好了，基本接近于0.3，想通过提升对比度方式的工艺提升很有限。而且你擅自改动透镜组参数，势必也要调整光源功率，到时候又会引发更多的问题。”另一名IE工程师说道，他倒没有半分鄙视王向中的意思，不过那双眼睛里满满的都是担忧之色。

光刻机是一个整体的系统，如果改动了其中一个参数，那便是牵一发而动全身的事情，几乎要将其它相关联的所有参数改动个遍，而这也是改进光刻机工艺比较难的原因之一。

“除非你可以搞到国外的新透镜组零件，否则一切免谈！”戴眼镜的IE工程师摆了摆手，便也不再发言。

听言，王向中也是深深皱了皱眉头。

倒不是因为那两人质疑声有什么问题，恰恰相反，他们的疑问都是有根有据的，但王向中怎么又会考虑不到这些问题呢？

但是要这么轮番提问下去，这个大会到明天都开不完。

“大家稍安毋躁，有关于这些问题的解决方案，我都已经做过一番推演了。你们所提到的问题，其实都不是问题。”王向中突然将嗓门提高了几度。